晶圆检测治具及晶圆检测装置

摘要

本发明公开了一种晶圆检测治具及晶圆检测装置，该晶圆检测治具用以配合晶圆组件辅助半导体晶圆的检测，所述晶圆组件包括划片膜以及圆片环，所述半导体晶圆通过所述划片膜固定于所述圆片环，所述晶圆检测治具包括环主体、设于所述环主体上的环孔以及设于所述环主体上的配合部；其中，所述配合部用以与所述圆片环配合，以使所述圆片环装配于所述环主体上；当所述圆片环装配于所述环主体后，所述半导体晶圆位于所述环孔内。本发明设计了一种晶圆检测治具及晶圆检测装置，该晶圆检测治具用以与晶圆组件配合以辅助晶圆组件的检测，可以对半导体晶圆起到保护作用，而且可以减少检测人员的操作难度，提高检测效率。