用于晶圆检测的激光频闪照明装置研制

摘要

为了提高晶圆检测仪器的精度,改善高速相机的配套光源,研制了一种激光频闪照明装置作为高速相机的暗场光源.用半导体激光器产生多束激光同时照亮视野,半导体激光器尾端安装压电陶瓷片,使用三角波驱动半导体激光器.研制的暗场照明装置每次照明时间为2 ms,每秒至少照亮视野1 000次,照明光斑均匀性提高至85.7％,满足了晶圆缺陷检测设备对照明光源的需求,能够改进晶圆缺陷检测设备.