取晶用晶圆蓝膜张紧机构

摘要

本发明提供了一种取晶用晶圆蓝膜张紧机构，包括机架和支撑环，所述机架包括沿水平方向设置的安装板，所述安装板中开设有安装孔，所述支撑环转动安装在所述安装孔中，所述支撑环的转动轴心沿竖直方向设置，所述支撑环中设有用于放置晶圆蓝膜的扩晶环，所述支撑环的上方设有半分环，所述半分环的数量为二个，二个所述半分环通过竖直调节机构安装在所述支撑环上，通过设置扩晶环和半分环，将晶圆蓝膜放置在扩晶环上，竖直调节机构驱动半分环下移并下压晶圆蓝膜，使得晶圆蓝膜的中部张紧在扩晶环上，进而能够避免晶圆蓝膜过于松弛影响取晶精度。