一种梳齿电容式微机电加速度计结构

摘要

本发明公开一种梳齿电容式微机电加速度计结构。结构包括梳齿组、质量块、挠性梁、挠性梁支撑杆和梳齿支撑杆。质量块为“日”字型框体结构，梳齿组为变间隙的梳齿组，构成梳齿组的单根梳齿为交叠区齿宽渐变的5边形齿。梳齿组交叉分布在质量块框体的内外两侧组成差分电容，梳齿组的可动齿与质量块相连，然后通过质量块框体四个角上的4根挠性梁悬挂在结构最外两侧的挠性梁支撑杆两端，梳齿组的固定齿与梳齿支撑杆相连。5边形齿可以在保持齿间隙比的同时增加齿对数，有利于提高加速度计的灵敏度。交叉分布的梳齿组可弥补刻蚀工艺不均匀带来的电容差异，提高电容对称性；还可以补偿差分电容受环境温度变化的影响，提高加速度计刻度系数的稳定性。