一种晶圆清洗设备中的工艺调度方法、装置

摘要

本申请实施例提供了晶圆清洗设备中的工艺调度方法、装置，该方法包括：生成可行移动集合；基于可行移动集合，生成多个移动分支，构成第一分支集合；依次访问经过排序的第一分支集合中的每一个分支，查找满足预设的可执行条件的移动分支；在查找到满足可执行条件的移动分支时，停止访问其他移动分支，根据执行该移动分支后晶圆清洗设备中的全部物料是否均处于安全位置，执行相应的操作。由此，在每一次调度过程中，不仅可以确保调度的安全性，还可以确保选择出的可执行的移动分支为在产能方面较优的移动分支或在对物料进行处理之后物料的工艺精度方面较优的移动分支。提升晶圆清洗设备的产能、对物料进行处理之后物料的工艺精度。