带驻留与连续重入的单臂集束型晶圆制造设备调度方法

摘要

为了提升单臂集束型设备的利用率,优化动态到达晶圆驻留与连续重入的调度问题,提出了一种结构式启发式调度算法.在界定调度问题域的基础上,建立了非线性规划的调度模型,并以动态到达晶圆的最短完工时间为调度目标,构造了基于搜索可行机械手搬运路径的调度算法.最后,设计了仿真实验,并对调度算法进行了实验分析.结果表明,所提出的算法对于解决多种晶圆类型的调度问题以及单臂集束型晶圆制造设备在加工过程中由于驻留约束限制和连续重入而产生的冲突和死锁的问题是可行而有效的.