公开/公告号CN111229679B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-17
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方华创微电子装备有限公司;
申请/专利号CN202010072183.3
申请日2020-01-21
分类号B08B3/00(20060101);B08B13/00(20060101);H01L21/67(20060101);
代理机构11218 北京思创毕升专利事务所;
代理人孙向民;廉莉莉
地址 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
入库时间 2022-08-23 12:29:26
机译: 晶圆清洗设备和用于晶圆清洗设备的托盘
机译: 晶圆清洗设备和用于晶圆清洗设备的托盘
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