晶圆清洗设备中的卡盘装置及晶圆清洗设备

摘要

本申请公开一种晶圆清洗设备中的卡盘装置及晶圆清洗设备，所公开的卡盘装置中：多个夹持件形成夹持空间，待夹持件可夹持于夹持空间，多个夹持件均与传动件驱动相连；弹性件与传动件相连，弹性件可驱动传动件转动，传动件在第一转动方向上转动的情况下可驱动多个夹持件夹持待夹持件；驱动机构可驱动卡盘装置在第一夹持状态和第二夹持状态之间进行切换，在卡盘装置处于第一夹持状态的情况下，弹性件以第一驱动力驱动传动件在第一转动方向上转动；在卡盘装置处于第二夹持状态的情况下，弹性件以第二驱动力驱动传动件在第一转动方向上转动；其中，第二驱动力大于第一驱动力。上述方案能够解决卡盘装置的通用性较差的问题。