一种鳍式场效应晶体管源漏寄生电阻萃取方法

摘要

本发明公开了一种鳍式场效应晶体管源漏寄生电阻萃取方法，其可避免漏电流严重的问题出现，可提高源漏寄生电阻提取准确性，该方法包括：将源漏寄生电阻分解为若干分解寄生电阻，根据分解寄生电阻的分布情况，划分不同测试区间，基于开尔文测试结构测量不同测试区间的源漏寄生电阻，测量不同测试区间的鳍长度，基于直线方程、不同测试区间的源漏寄生电阻、鳍长度，计算获取分解寄生电阻。