铝衬底的富Al组分氮化物材料生长方法及铝衬底结构

摘要

本申请实施例提供了铝衬底的富Al组分氮化物材料生长方法及铝衬底结构。该铝衬底的富Al组分氮化物材料生长方法，包括以下步骤：提供一铝衬底，并在铝衬底上表面氮化一层多晶AlN膜层；在所述多晶AlN膜层上沉积生长AlN成核层；在所述AlN成核层上沉积生长AlN缓冲层；在所述AlN缓冲层上外延生长高晶体质量的AlN膜层。本申请实施例通过在铝衬底上依次生长一多晶AlN膜层一AlN成核层、一AlN缓冲层以及一高晶体质量的AlN膜层，从而形成低成本高晶体质量的富Al组分氮化物材料的铝衬底结构，可以降低成本，提高效率。