脉冲激光沉积法在多孔铝衬底上生长的ZnO薄膜的结构与光学性质

摘要

ZnO是一种性质优良很有前途的紫外光电子器件材料,多孔铝是一种良好的模板型衬底,试图将二者结合起来以制备出一种全新的光电功能材料.制备了三种不同孔径多孔铝衬底,采用脉冲激光沉积法,在真空背景下,在多孔铝衬底上生长了氧化锌薄膜.利用扫描电子显微镜、X射线衍射和光致荧光对样品进行了测试和分析.研究表明:利用不同孔径的多孔铝衬底生长的氧化锌薄膜的结构和光学性质差异很大.样品A的光致发光主要是394 nm的紫外发射和498 nm的蓝绿光发射;样品B的光致发光主要是417 nm的紫光发射和466 nm蓝光发射;样品C的光致发光主要是415 nm的紫光发射和495 nm的蓝绿光发射.由于薄膜是富锌的,随着在空气中氧化的进行,光谱发生变化.利用固体能带理论对光谱进行了全面的分析.