公开/公告号CN100442066C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-12-10
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华虹NEC电子有限公司;
申请/专利号CN200510111418.0
发明设计人 殷建斐;
申请日2005-12-13
分类号G01R31/00(20060101);G01R31/02(20060101);G01R31/26(20060101);G01R31/28(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构31211 上海浦一知识产权代理有限公司;
代理人丁纪铁
地址 201206 上海市浦东新区川桥路1188号
入库时间 2022-08-23 09:01:49
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-01-08
专利权的转移 IPC(主分类):G01R 31/00 变更前: 变更后: 登记生效日:20131216 申请日:20051213
专利申请权、专利权的转移
2008-12-10
授权
授权
2007-08-15
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-06-20
公开
公开
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