公开/公告号CN100458492C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-02-04
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN200610027448.8
申请日2006-06-08
分类号G02B21/26(20060101);G01N21/88(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人李勇
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-23 09:01:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-28
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B 21/26 授权公告日:20090204 终止日期:20180608 申请日:20060608
专利权的终止
2012-01-11
专利权的转移 IPC(主分类):G02B21/26 变更前: 变更后:
专利申请权、专利权的转移
2012-01-11
专利权的转移 IPC(主分类):G02B 21/26 变更前: 变更后:
专利申请权、专利权的转移
2009-02-04
授权
授权
2009-02-04
授权
授权
2008-02-06
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-02-06
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-12-12
公开
公开
2007-12-12
公开
公开
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机译: 固定用于扫描电子显微镜的样品固定元件和样品固定器组件
机译: 用于观察动态光学显微镜样品的光发射的装置
机译: 用动态光学显微镜观察样品的光发射的装置