提高光发射显微镜背面定位效果的方法、样品及制作方法

摘要

本发明公开了一种提高光发射显微镜背面定位效果的方法、样品及其制作方法，通过在样品芯片的衬底背面加工形成具有一定弧度的弧形凸起结构，以此提高定位分析时的镜头数值孔径，从而使用EMMI的常规镜头，即可获得更好的芯片背面定位分析效果，并可根据不同的衬底厚度，加工形成具有对应弧度的弧形凸起结构，从而可以使用一个镜头对不同样品进行分析，大大缩减了分析成本。