一种性能优化的Ba(Zr,Ti)O₃铁电薄膜及其制备方法

摘要

本发明涉及一种铁电薄膜，具体涉及一种采用化学方法制备钛酸锆钡(BZT)铁电薄膜的方法技术领域。本发明所述的性能优化的Ba(Zr，Ti)O₃铁电薄膜的制备方法，其具体步骤是：先用溶胶-凝胶法配制前驱体溶液，然后将前驱体溶液涂覆在在衬底上制备籽晶层，再在籽晶层上涂覆前驱体溶液制备所需厚度的薄膜，最后将薄膜在650～750℃下热处理25～35分钟，溅射上电极即可。用本发明的方法制得的Ba(Ti，Zr或Sn)O₃铁电薄膜与一般的铁电薄膜比较，在薄膜和衬底之间生成与薄膜成分相同的籽晶对薄膜性能具有优化作用，使之具有较高的介电常数、较低的介电损耗及漏电流低等特点。