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Ba(Zr_(0.3)Ti_(0.7))O_3铁电薄膜的制备

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介绍了用溶胶-凝胶法(sol-gel)在Pt/Ti/SiO2/Si衬底和石英衬底上制备Ba(Zr0.3Ti0.7)O3铁电薄膜的基本原理、工艺过程及工艺特点;Sol-gel制备的Ba(Zr0.3Ti0.7)O3铁电薄膜表面平整、厚度均匀.

著录项

来源
《新疆大学学报：自然科学版(中英文)》 |2006年第2期|182-184|共3页
作者
张红燕; 翟继卫; 张军;
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作者单位

新疆大学物理系;

同济大学功能材料研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类凝聚态物理学;
关键词
溶胶-凝胶法; 铁电薄膜; Ba(Zr0.3Ti0.7)O3;

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