溶胶-凝胶法制备Mn掺杂的BaTiO3铁电薄膜

摘要

采用溶胶-凝胶法制备了Mn离子摩尔掺杂比x分别为0,2％,4％,6％,8％的Ba(Ti1-xMnx)O3铁电薄膜.研究发现:当x为6％时,漏电流和矫顽场均达到最小,与未掺杂时相比,漏电流降低了约3个量级,矫顽场电场强度降低了约60％,P-E回线的矩形度增加.实验结果表明:通过适量掺杂Mn离子,可以改善BaTiO3铁电薄膜电学性能,提高铁电薄膜的极化,降低薄膜的漏电流.