微弧氧化制备BaTiO3铁电薄膜的添加剂优选

摘要

以纳米BaTiO3、纳米TiO2、乙二醇、甘油和三乙醇胺分别作为添加剂，在0．5mol／LBa（OH）2基础溶液中，采用徽弧氧化在钛板表面原位生长铁电薄膜，利用XRD、SEM、EDS和HP4284型电容探测仪等对薄模的物相构成、厚度、表面粗糙度、元素分布及介电性能进行表征。结果表明，所得薄膜的物相组成均主要是四方相BaTiO3，添加剂的加入对物相无影响。甘油可显著改善薄膜的表面形貌，降低表面粗糙度值，所得薄膜介电性能优越，100Hz条件下其介电常数和介质损耗值分别为200．7和0．055。纳米Ti0：和乙二醇也可降低薄膜表面粗糙度且使薄膜生长速度升高，怛两者对薄膜介电性能的优化不及甘油。故欲获得表面形貌良好、生长速度较快且介电性能优越的BaTiO3铁电薄膜，可选择甘油作为添加剂.