与扩散区域完全自对准的异质结双极晶体管

摘要

本发明涉及与扩散区域完全自对准的异质结双极晶体管。实施例提供一种用于制造双极结型晶体管的方法。所述方法包括：提供具有沟槽隔离的半导体衬底，其中通过制造沟槽隔离而获得的衬垫被布置在半导体衬底上；在半导体衬底和衬垫上提供隔离层，以使得衬垫被隔离层覆盖；去除隔离层直至衬垫；以及选择性地去除衬垫，以获得发射极窗口。