一种铟镓锌氧化物薄膜晶体管器件的制备方法

摘要

本发明公开了一种铟镓锌氧化物薄膜晶体管器件的制备方法，包括：将玻璃基板依次加入清洗液和去离子水中，分别超声清洗，风刀吹干；通过磁控溅射工艺在玻璃基板表面沉积金属薄膜，并进行图案化处理，得到栅电极；通过等离子体增强化学气相沉积法镀膜工艺在栅电极表面沉积二氧化硅，即绝缘层；在绝缘层上制备铟镓锌氧化物半导体薄膜，并进行图案化处理，得到有源层；通过磁控溅射工艺在绝缘层及有源层上沉积金属层，并通过对金属层进行图案化处理，得到分别接触有源层两侧的源电极和漏电极。本发明制备工艺简单、可控，成本低，光电性能优良。