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具有凹沟道结构单元晶体管的半导体器件及其制造方法

摘要

本发明提供了这样的半导体器件,所述半导体器件包括:双栅外围晶体管,其具有表面沟道nMOSFET的晶体管结构和表面沟道pMOSFET的晶体管结构;以及单元晶体管,其具有带凹沟道结构的nMOSFET结构,所述单元晶体管的栅电极具有包含近似恒定浓度的N型杂质的N型多晶硅层。

著录项

  • 公开/公告号CN100444388C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2008-12-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 尔必达存储器株式会社;

    申请/专利号CN200610089841.X

  • 发明设计人 山崎靖;

    申请日2006-05-24

  • 分类号H01L27/108(20060101);H01L29/78(20060101);H01L21/8242(20060101);H01L21/336(20060101);

  • 代理机构11219 中原信达知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人杨林森;谷惠敏

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 09:01:34

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-07-14

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 27/108 授权公告日:20081217 终止日期:20160524 申请日:20060524

    专利权的终止

  • 2013-09-18

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 27/108 变更前: 变更后: 登记生效日:20130828 申请日:20060524

    专利申请权、专利权的转移

  • 2013-09-18

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 27/108 变更前: 变更后: 登记生效日:20130828 申请日:20060524

    专利申请权、专利权的转移

  • 2008-12-17

    授权

    授权

  • 2008-12-17

    授权

    授权

  • 2007-01-24

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-01-24

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-11-29

    公开

    公开

  • 2006-11-29

    公开

    公开

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