一种双层半导体结构的光电导型深紫外单色光电探测器

摘要

本发明公开了一种双层半导体结构的光电导型深紫外单色光电探测器。包括由下至上依次叠置而成的绝缘衬底、窄带隙氮化硼薄膜和宽带隙氮化硼薄膜，绝缘衬底上表面覆盖有窄带隙氮化硼薄膜，窄带隙氮化硼薄膜上表面覆盖有宽带隙氮化硼薄膜；窄带隙氮化硼薄膜中埋设有两个栅状Ti金属电极；通过调节窄带隙氮化硼薄膜和宽带隙氮化硼薄膜的带隙以及两者之间的带隙差，在深紫外波段调节探测器的响应波长。本发明通过带隙不同的氮化硼层状结构，实现了单色光响应，探测效果好，单色性好，可以简单实现探测器响应波长和响应带宽，提高了电极对光生载流子的收集能力。