公开/公告号CN110808296A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-18
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江大学;
申请/专利号CN201911007238.6
申请日2019-10-22
分类号H01L31/0304(20060101);H01L31/103(20060101);H01L31/18(20060101);G01J1/42(20060101);
代理机构33200 杭州求是专利事务所有限公司;
代理人林超
地址 310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
入库时间 2023-12-17 05:31:07
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/0304 申请日:20191022
实质审查的生效
2020-02-18
公开
公开
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