一种用于硅微谐振式加速度计的数字锁相测控电路

摘要

本发明公开了一种用于硅微谐振式加速度计的数字锁相测控电路，使用一种同步积分电路实现对加速度计谐振器电容检测信号的相位信息和幅度信息提取，输出信号为反映相位误差的直流量，降低模数转换器的采样速率要求。数字PI控制器的参数可灵活设置，实现高精度的幅度控制以及相位控制；频率控制字能够表征谐振器实际信号的频率，无需另外使用频率测量设备对信号测频。在加速度计前端电路建立温度补偿模型，将零偏温度补偿前的频率差信号和温度补偿后频率差信号通过串口传输至上位机，实现测量控制和温度补偿的一体化。