公开/公告号CN109959358B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-23
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳光启超材料技术有限公司;
申请/专利号CN201711408348.4
发明设计人 不公告发明人;
申请日2017-12-22
分类号G01B21/32(20060101);
代理机构11240 北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人赵囡囡
地址 518057 广东省深圳市南山区粤海街道高新中一道9号软件大厦二层
入库时间 2022-08-23 11:18:02
机译: 测量膜,测量膜的制造方法以及平面应变场的测量方法
机译: 光学记录介质,相同厚度的薄膜厚度测量方法,薄膜厚度控制方法,制造方法,薄膜厚度测量装置和薄膜厚度控制器
机译: 薄膜测量装置,薄膜测量方法和薄膜制造方法