激光发射器、激光接收器、晶圆测平器及晶圆测平方法

摘要

本发明公开了一种激光发射器、激光接收器、晶圆测平器及晶圆测平方法，涉及水平检测装置的技术领域，以解决现有技术中存在的缺少自由度的技术问题。本发明所述的激光发射器包括激光发射端组件和第一安装基座，第一安装基座包括固定座、连接件、连接座和安装支架，激光发射端组件连接在固定座上，并能发射朝向第一方向的激光线束；固定座通过连接件连接在连接座上，且固定座能绕第二方向旋转；连接座连接在安装支架，且连接座能沿第三方向上下移动且能绕第三方向旋转，其中，第一方向、第二方向和第三方向相互成垂直设置，第三方向为安装支架的长度方向。故本发明自由度多，且检测结果的准确性高。