一种兼具大小尺寸的晶圆吸嘴组件

摘要

本发明揭示了一种兼具大小尺寸的晶圆吸嘴组件，包括堵气块以及吸嘴帽，其中吸嘴帽上表面圆周等间隔设有内外两圈吸气孔，且内圈吸气孔的直径小于外圈吸气孔的直径，而吸嘴帽侧壁设有吸气口连接抽真空设备，所述堵气块上表面设有内外两圈多个堵气柱，其位置及直径尺寸与吸嘴头上的吸气口一致，且外圈堵气柱的高度以及直径大于内圈堵气柱，所述堵气块插装在吸嘴帽内并在上方形成负压腔，同时堵气块可在吸嘴帽内上下移动使得外圈堵气柱卡入或脱离吸气孔，从而调节吸嘴帽表面吸附尺寸，适应不同直径的晶圆吸附。本发明采用环形分布的吸嘴结构将点吸附改为面吸附，提升吸附的稳定性，同时采用伸缩式结构可以调节吸附面积，来适应不同尺寸的晶圆吸附。