公开/公告号CN107068753B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-09-04
原文格式PDF
申请/专利权人 英特尔公司;
申请/专利号CN201610979130.3
申请日2011-12-19
分类号H01L29/78(20060101);H01L29/08(20060101);H01L29/165(20060101);H01L21/265(20060101);H01L21/268(20060101);H01L21/336(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人张伟;王英
地址 美国加利福尼亚
入库时间 2022-08-23 11:12:26
机译: 晶体管的脉冲激光退火工艺,用于部分熔化的源极-漏极熔体
机译: 晶体管的脉冲激光退火工艺,用于部分熔化的源极-漏极熔体
机译: 具有凸起的源极-漏极熔体的晶体管的脉冲激光退火工艺