通过部分熔化升高的源极-漏极的晶体管的脉冲激光退火工艺

摘要

一种包括部分熔化的提高半导体源极/漏极的非平面晶体管，所述提高半导体源极/漏极被设置在半导体鳍状物的相对端上，其中，栅极堆叠设置于所述相对端之间。所述的升高的半导体源极/漏极包括处于熔化深度以上的超活化掺杂剂区以及处于熔化深度以下的活化掺杂剂区。超活化掺杂剂区具有比活化掺杂剂区更高的活化掺杂剂浓度和/或具有在整个熔化区域内恒定的活化掺杂剂浓度。在衬底上形成鳍状物，并且在所述鳍状物的设置在沟道区的相对侧的区域上沉积半导体材料或半导体材料堆叠，以形成升高的源极/漏极。执行脉冲激光退火，以仅熔化所沉积的半导体材料的处于熔化深度以上的部分。