首页> 中国专利> 一种塑封铜键合引线集成电路开封方法

一种塑封铜键合引线集成电路开封方法

摘要

本发明公开了一种塑封铜键合引线集成电路开封方法,利用激光将塑封料削薄,减少酸接触铜键合引线的时间;通过从器件背面进行加热,减少酸接触铜丝的面积和温度;通过调节开封浓酸的配比,减弱酸对铜的腐蚀性,短时间内对塑封铜键合引线集成电路的手工的开封,实现开封过程中对铜键合引线的保护,通过制定的清洗程序,完成对开封后的器件的清洗,从而实现完整的开封。本发明在塑封料去除干净的同时,能够有效保持铜丝完整的键合形状,利于后续的内部封装工艺检查、加电测试、键合强度等试验。

著录项

  • 公开/公告号CN107680919B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-09-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 西安微电子技术研究所;

    申请/专利号CN201710834927.9

  • 发明设计人 姜金超;薛龙龙;

    申请日2017-09-15

  • 分类号H01L21/67(20060101);

  • 代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;

  • 代理人徐文权

  • 地址 710065 陕西省西安市雁塔区太白南路198号

  • 入库时间 2022-08-23 11:12:09

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号