一种低频声场质点振速敏感结构及制备方法

摘要

本发明涉及一种低频声场质点振速敏感结构及制备方法，硅衬底上形成有桥孔，桥孔的一侧上设有第一电极，桥孔的另一侧上设有第二电极、第三电极，桥孔上方设有第一薄丝、第二薄丝，第一薄丝、第二薄丝平行设置且保持微间距，第一薄丝、第二薄丝的敏感层均依次由第一端部敏感层、中部敏感层、第二端部敏感层三段组成，中部敏感层的长度大于第一端部敏感层、第二端部敏感层的长度，中部敏感层用于传递热量，第一端部敏感层、第二端部敏感层用于与电极连接；中部敏感层与第一端部敏感层、第二端部敏感层之间分别设有空气间隙层。本发明能够有效提升低频声场质点振速敏感结构的低频响应特性。