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含有1,10-啡啉化合物的铟电镀组合物和电镀铟的方法

摘要

含有痕量1,10‑啡啉化合物的铟电镀组合物在金属层上电镀基本上无缺陷的均一和平滑表面形态铟。所述铟电镀组合物可用于在如半导体晶片的各种衬底的金属层上电镀铟金属和用作热界面材料。

著录项

  • 公开/公告号CN107630239B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-11-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 罗门哈斯电子材料有限责任公司;

    申请/专利号CN201710521605.9

  • 申请日2017-06-30

  • 分类号C25D3/54(20060101);

  • 代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人陈哲锋;胡嘉倩

  • 地址 美国马萨诸塞州

  • 入库时间 2022-08-23 11:11:02

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