含有胺化合物的铟电镀组合物和铟电镀方法

摘要

一种铟电镀组合物，其含有痕量的胺化合物以电镀基本上无缺陷的均匀铟，所述铟具有光滑表面形态。铟电镀组合物可以用于在各种衬底(如半导体晶片)的金属层上电镀铟金属以及用作热界面材料。