公开/公告号CN105470239B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-09
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN201410453193.6
申请日2014-09-05
分类号
代理机构北京市磐华律师事务所;
代理人高伟
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-23 11:00:49
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-09
授权
授权
2016-05-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L23/544 申请日:20140905
实质审查的生效
2016-04-06
公开
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