法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-10
授权
授权
2018-01-02
专利申请权的转移 IPC(主分类):G02B27/01 登记生效日:20171213 变更前: 变更后: 申请日:20150406
专利申请权、专利权的转移
2018-01-02
专利申请权的转移 IPC(主分类):G02B 27/01 登记生效日:20171213 变更前: 变更后: 申请日:20150406
专利申请权、专利权的转移
2017-12-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B27/01 申请日:20150406
实质审查的生效
2017-12-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 27/01 申请日:20150406
实质审查的生效
2017-12-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 27/01 申请日:20150406
实质审查的生效
2017-12-01
公开
公开
2017-12-01
公开
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2017-12-01
公开
公开
2017-12-01
公开
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机译: 投影光学系统,曝光方法以及使用该曝光装置和具有该投影光学系统的投影光学系统的器件制造方法
机译: 投影光学系统以及具有该投影光学系统的投影曝光设备,其投影方法,其曝光方法以及使用该投影曝光设备制造装置的制造方法
机译: 具备光学系统的曝光装置,投影光学系统,投影光学系统以及使用该曝光装置的微型装置的制造方法