投影光学系统、投影光学系统的制造方法和使用该光学系统的投影曝光装置

摘要

一个至少具有2个石英玻璃光学部件的投影光学系统,其特征是:测定垂直于以与各光学部件的光轴相交的交点为中心的光轴的面内多个位置的复折射值,当其相位超前补偿轴的朝向相对于与光轴的交点于放射方向时取多个复折射值为正,与放射方向平行时取多个复折射值为负,并求出带符号复折射值的分布,相互组合光学部件,以使基于这个分布计算出来的投影光学系统整体的带符号复折射特性值满足－0.5—+0.5nm/cm的配置条件。由此,可以使光学部件内的复折射值的不均匀分布对投影光学系统的成像性能、或者投影曝光装置的解像度的影响降到最小限度,能提供具有高成像性能的投影光学系统、投影光学系统的制造方法以及可以获得高解像度的投影曝光装置。