一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构

摘要

一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构，不仅适用于大口径涡轮分子泵与小口径真空管道过渡连接，还可直接应用到涡轮分子泵入口结构，将涡轮分子泵泵入口直接过渡到小口径形式，可直接与小口径真空管道相连，与未采用本发明过渡结构的涡轮分子泵相比，可将抽气速率进一步提升5％左右。当作为大口径涡轮分子泵与小口径真空管道转接结构时，包括圆弧过渡段、小口径法兰、大口径法兰及锥形端盖反射屏，圆弧过渡段小径端与小口径法兰相固连，圆弧过渡段大径端与大口径法兰相固连。当作为涡轮分子泵入口结构时，包括圆弧过渡段、小口径法兰及锥形端盖反射屏，圆弧过渡段小径端与小口径法兰相固连，圆弧过渡段大径端与涡轮分子泵入口端壳体相固连。