径向微型分子泵结构设计及抽气性能仿真

摘要

微型分子泵用于航天器上微小型探测仪器的高真空环境获得.着眼于简化结构,减小体积与装配难度,面向径向微型分子泵,针对其核心部件——定转子进行结构设计,并利用ANSYS、COMSOL软件作仿真分析,探究定转子径向结构、叶片角度、节弦比等对泵抽气性能的影响;比较径向与轴向分子泵的抽气效果.结果表明,在同等抽气系统体积下,径向微型分子泵在获得高压缩比方面更具优势.