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鲁浩昌;
无;
分子泵; 半导体; 真空;
机译:用于涡轮分子真空泵的ForVacum泵的选择提供所需的泵送参数
机译:真空泵技术-第4部分:涡轮分子真空泵
机译:扩大了真空泵的产品阵容,广泛适用于从低真空到极高真空
机译:Varian Inc.的新型涡轮增压-V 2K-G涡轮分子真空泵,用于薄膜沉积
机译:MEMS Knudsen泵,用于高流量应用。
机译:用于高流量微流体应用的电磁致动往复泵
机译:用涡轮分子真空泵计算高真空系统泵浦特性的方法
机译:具有一级涡轮风扇和二级涡轮分子泵的超高速真空泵系统。
机译:具有涡轮分子真空泵的组件和用于补偿至少一个部件的磁场的方法,该至少一个部件的磁场产生布置在涡轮分子真空泵中的磁干扰场
机译:具有涡轮分子泵送机构和齐格班泵送机构串联的真空泵
机译:一种抽气式单流涡轮分子泵的安装方法-真空泵,根据该方法,抽气式涡轮分子泵的安装-真空泵
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