用于确定涡轮分子泵的状态信息的方法和涡轮分子泵

摘要

在一种用于确定涡轮分子泵的状态信息的方法中和在一种涡轮分子泵中，利用连接到涡轮分子泵的振动传感器(10)来确定振动曲线。确定的振动曲线被传送到估计装置(12)，其中振动幅度由估计装置(12)中的滤波器(16)进行检测，然后与比较值进行比较。如果阈值被超过，则通过远程数据传送装置(28)将报警信号传送到监视系统(30)。该方法允许在线监视涡轮分子泵。