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【24h】

片側電磁石駆動の1軸能動型磁気軸受が搭載されたターボ分子ポンプにおける水平設置での安定浮上

机译:水平安装在涡轮分子泵中的稳定悬浮,该涡轮分子泵配备有由一侧电磁体驱动的单轴主动磁轴承

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摘要

高真空をつくり出すターボ分子ポンプ(Turbo molecular pump; TMP)という装置がある.数段重なったタービン翼を高速回転させることにより空気分子をはじき飛ばし,排気する.このようなタービン翼が付属したロータを支えるために,しばしば磁気軸受が用いられる.これは磁気力を利用してロータを浮上させ,非接触で支える軸受である.本研究では,小型化と低価格化をねらい開発した片側電磁石駆動の1軸磁気軸受を採用したTMPにおいて,産業応用を見据えた水平設置への対応策を検討する.
机译:有一种称为涡轮分子泵(TMP)的装置可产生高真空,通过高速旋转多级涡轮叶片来排斥和排出空气分子,并用这种涡轮叶片支撑转子。这是一种利用磁力使转子悬浮并以非接触方式支撑转子的轴承。对于使用轴向磁力轴承的TMP,我们将考虑针对工业应用的水平安装措施。

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