构成机械增压泵、涡轮分子泵或干式泵的部件的表面处理方法及通过该表面处理方法处理过的机械增压泵、涡轮分子泵或干式泵

摘要

本发明的目的是提供一种耐蚀性优异、放出气体少的构成机械增压泵、涡轮分子泵或干式泵的部件的表面处理方法以及通过该表面处理方法处理过的干式泵。其特征为，构成机械增压泵、涡轮分子泵或干式泵的部件由铝或铝合金构成，将所述部件表面浸渍到碱性溶液中，进行微弧氧化处理。