Technik der Vakuumpumpen - Teil 4: Die Turbomolekular-Vakuumpumpe

摘要

Moderne Turbomolekular-Vakuumpumpen, die heute in physikalischer Forschung und industrieller Anwendung wichtigste Type der Hochvakuumpumpen, gehen letztlich auf Entdeckungen und Entwicklungen von Wolfgang Gaede [1], Holweck [2], und Siegbahn [3] zuruck, die zu Beginn des 20. Jahrhunderts erfolgten. In den 1950er-Jahren wurde aus den zuvor beschriebenen Phanomenen der zum Pumpmechanismus fuhrenden ausseren Gasreibung (Reibung von Gasteilchen mit einer schnell rotierenden Wand) die erste "turbinenartige" Mole-kularvakuumpumpe von Becker entwickelt und auch fur den praktischen Einsatz gebaut [4].