具有第一级涡轮风扇和第二级涡轮分子泵的超高速率真空泵系统

摘要

一种超高速率真空泵抽空系统包括一个第一级超高速涡轮风扇和一个第二级常规涡轮分子泵。该涡轮风扇或串联连接到一个待抽空的腔室，或视情况完整地安置在该腔室内。该涡轮风扇采用在高线性叶片速度下运行的大直径转子叶片以向流体赋予一超高抽气速度。该第二级涡轮分子泵在该第一级涡轮风扇下游流体地连接。在运行中，该第一级涡轮风扇在预先存在的真空中运行，其中该流体仅向该转子叶片施加较小的轴向力。该涡轮风扇向流体颗粒赋予朝向一个出口的高体积速率但适度压缩比率的一速度。该第二级常规涡轮分子泵接着将该流体压缩到用于通过一个低真空泵抽空的压力。