涡轮型高真空泵的结构和性能

摘要

涡轮分子泵实质上是为抽稀萍气体而设计的轴流压缩机。最早的开拓者或多或少继承了轴流压缩机的传统分级排列，当时，对交替排列的动，定叶列间的分子轨迹曾用模拟数学计算法予以确证。现代开展的泵大都为组合排列与混合排列结构，它们由涡轮分子组和涡轮牵引级组成，而且装在一个泵壳内的同一轴上。