公开/公告号CN108122787B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-09-17
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备(集团)股份有限公司;
申请/专利号CN201611086167.X
申请日2016-11-30
分类号
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人屈蘅
地址 201203 上海市浦东新区张东路1525号
入库时间 2022-08-23 10:40:44
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-17
授权
授权
2018-06-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/56 申请日:20161130
实质审查的生效
2018-06-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/56 申请日:20161130
实质审查的生效
2018-06-05
公开
公开
2018-06-05
公开
公开
2018-06-05
公开
公开
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