光刻工艺热点的整合方法

摘要

本发明提供一种光刻工艺热点的整合方法，包括：提供具有多个光刻工艺热点的图形库；以所述光刻工艺热点为中心，截取每个所述光刻工艺热点对应图形的部分区域，形成初级热点图形库；定义整合规则，去除所述初级热点图形库中的相同图形或相近图形，将所述初级热点图形库整合成未压缩的中级热点图形库；定义压缩规则，设定约束条件、归类相似图形，将所述中级热点图形库压缩为高级热点图形库。本发明中，最终产生的压缩版高级热点图形库匹配精度不下降，热点无遗漏。此外，本发明能够将热点图形库中数以千万计的热点通过整合压缩，最终生成热点数量在千级以内的图形库，减少热点数量，便于热点的进一步有效管理。