公开/公告号JP2008268560A
专利类型
公开/公告日2008-11-06
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORP;
申请/专利号JP20070111462
发明设计人 KUBO SHINJI;MATSUOKA RYOICHI;SAKAI HIDEO;HASEGAWA NORIO;ARAI KOJI;SUGIMOTO ARITOSHI;FUNAKOSHI TOMOHIRO;KURIHARA SHIGEKI;
申请日2007-04-20
分类号G03F1/08;H01L21/027;G03F7/20;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 20:22:18