公开/公告号CN105808844B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-01-04
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华虹宏力半导体制造有限公司;
申请/专利号CN201610129781.3
发明设计人 张健;
申请日2016-03-08
分类号
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人潘彦君
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
入库时间 2022-08-23 10:22:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-04
授权
授权
2016-08-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F17/50 申请日:20160308
实质审查的生效
2016-08-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F 17/50 申请日:20160308
实质审查的生效
2016-07-27
公开
公开
2016-07-27
公开
公开
机译: 射频应用的片上耦合电感器
机译: 射频应用的片上耦合电感器
机译: 带有侧向射频馈源和射频分配板的对称电感耦合等离子体源