公开/公告号US9082590B2
专利类型
公开/公告日2015-07-14
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201313966614
发明设计人 JAMES D. CARDUCCI;KENNETH S. COLLINS;RICHARD FOVELL;JASON A. KENNEY;KARTIK RAMASWAMY;SHAHID RAUF;
申请日2013-08-14
分类号H01J7/24;H05B31/26;H01J37/32;H05H1/46;C23C16/505;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:20:57